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      廣東坤靈凈化設備有限公司

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      潔凈技術

      無塵車間凈化等級標準及劃分【完整版】

      發表時間:2021-04-23 14:31:50瀏覽量:

      空氣潔凈度等級(air cleanliness class):潔凈空間單位體積空氣中,以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進行劃分的等級標準。國內按空態、靜態、動態對無塵車間進行測試、驗收,符合《GB50073-2013 潔凈廠房設計規范》、《GB50591-2010 潔凈室施工及驗收規范》。

       

      潔凈度和控制污染的持續穩定性,是檢驗無塵車間質量的核心標準,該標準根據區域環境、潔凈程度等因素,分為若干等級,常用的有國際標準和國內區域行業標準。

       

      ISO14644-1國際標準空氣潔凈度等級劃分

      空氣潔凈度等級(N)

      大于或等于所標粒徑的粒子最大濃度限值(空氣粒子數個/立方米)

      0.1um

      0.2um

      0.3um

      0.5um

      1.0um

      5.0um

      ISO Class1

      10

      2

      ISO Class2

      100

      24

      10

      4

      ISO Class3

      1,000

      237

      102

      35

      8

      ISO Class4

      10,000

      2,370

      1,020

      352

      83

      ISO Class5

      100,000

      23,700

      10,200

      3,520

      832

      29

      ISO Class6

      1,000,000

      237,000

      102,000

      35,200

      8,320

      293

      ISO Class7

      352,000

      83,200

      2,930

      ISO Class8

      3,520,000

      832,000

      29,300

      ISO Class9

      35,200,000

      8,320,000

      293,000

      注:由于涉及測量過程的不確定性,故要求用不超過三個有效的濃度數字來確定等級水平

       

      GB50073-2013 國家標準空氣潔凈度等級

      空氣潔凈度等級(N)

      大于或等于表中粒徑的最大濃度限值(pc/m3)

      0.1um

      0.2um

      0.3um

      0.5um

      1um

      5um

      1

      10

      2

      2

      100

      24

      10

      4

      3

      1000

      237

      102

      35

      8

      4(十級)

      10000

      2370

      1020

      352

      83

      5(百級)

      100000

      23700

      10200

      3520

      832

      29

      6(千級)

      1000000

      237000

      102000

      35200

      8320

      293

      7(萬級)

      352000

      83200

      2930

      8(十萬級)

      3520000

      832000

      29300

      9(一百萬級)

      35200000

      8320000

      293000

       

      中國GMP2010年修訂)新版GMP附錄無菌藥品.第三章.第九條……潔凈區各級別空氣懸浮粒子的標準規定如下

      潔凈度級別

      懸浮粒子數最大允許數/m3

       

      近似對應傳統潔凈度

      靜態

      動態

      0.5um

      0.5um

      0.5um

      0.5um

      A

      3520

      20

      3520

      20

      100

      B

      3520

      29

      352000

      2900

      100

      C

      352000

      2900

      3520000

      29000

      10,000

      D

      3520000

      29000

      不作規定

      不作規定

      100,000

       

      各國潔凈度等級近似對照表

       

      個 / M ≥0.5um

      ISO14644-1(1999)

      US209E(1992)

      US209D(1988)

      EECcGMP(1989)

      FRANCE

      AFNOR(1981)

      GERMANY

      VDI 2083

      JAPAN

      JAOA(1989)

      1

      -

      -

      -

      -

      -

      -

      -

      3.5

      2

      -

      -

      -

      -

      0

      2

      10.0

      -

      M1

      -

      -

      -

      -

      -

      35.3

      3

      M1.5

      1

      -

      -

      1

      3

      100

      -

      M2

      -

      -

      -

      -

      -

      353

      4

      M2.5

      10

      -

      -

      2

      4

      1,000

      -

      M3

      -

      -

      -

      -

      -

      3,530

      5

      M3.5

      100

      A+B

      4,000

      3

      5

      10,000

      -

      M4

      -

      -

      -

      -

      -

      35,300

      6

      M4.5

      1,000

      1,000

      -

      4

      6

      100,000

      -

      M5

      -

      -

      -

      -

      -

      353,000

      7

      M5.5

      10,000

      C

      400,000

      5

      7

      1,000,000

      -

      M6

      -

      -

      -

      -

      -

      3,530,000

      8

      M6.5

      100,000

      D

      4,000,000

      6

      8

      10,000,000

      -

      M7

      -

      -

      -

      -

      -

       

      無塵車間(潔凈室)等級說明

       

      使用者在開無塵室的等級給供貨商時,有以下幾個小技巧。

       

      首先是等級定義的模式如下:

      Class X (at Y μm )

      其中X是無塵室的等級,例如10010000等等,Y是粒徑如0.2μm , 0.5μm等,可復選。意思就是使用者規定,該無塵室微粒含量,在這些粒徑必須滿足該等級的限度。這樣可以減少紛爭,以下是幾個例子:

      Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)

      Class 100(0.2μm , 0.5μm )

      Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )

      Classes 100 (M3.5) and Greater  (Class 100,1000,10000....),一般看一個粒徑即可。在Classes Less than 100 (M3.5)  (Class 10,1.... ),一般要看多幾個粒徑。

       

      第二個技巧是規定無塵室的狀態,例如:

      Class X (at Y μm ),At-rest

      供貨商就很清楚知道無塵室要在At-rest狀態下驗收。

      第三個技巧是自訂微粒濃度上限,一般在As-built時無塵室都很干凈,微??刂颇芰y試不易,這時可以干脆把驗收上限壓低,例如:

      Class 10000 (0.3 μm <= 10000),As-built

      Class 10000 (0.5 μm <= 1000),As-built

      這樣做的目的是確保無塵室在Operational狀態時,依然有足夠的微??刂颇芰?。

       

      半導體行業潔凈室案例圖集

       

      1、 黃光車間多建在百級潔凈區,千級潔凈區也有涉及

       

      半導體黃光無塵車間

       

      半導體黃光無塵室

       

      2、半導體潔凈室(高架地板)常應用于百級和千級區域

       

      半導體凈化車間高架地板

       


       

      3、 常規半導體潔凈室(潔凈區:萬級至十萬級)

       

      電子廠無塵車間

       

      電子廠凈化車間


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